Fluid model for charged particle transport in capacitively coupled radio-frequency discharges

Título: Fluid model for charged particle transport in capacitively coupled radio-frequency discharges
Data: 2003
Descrição: Monografia
Bibliografia, f. 173-190
Tese dout. Física, Univ.de Lisboa, 2003
Tipo: material textual, impresso
Texto policopiado]
Idioma: Inglês

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