Título: | Fluid model for charged particle transport in capacitively coupled radio-frequency discharges |
Data: | 2003 |
Descrição: | Monografia |
Bibliografia, f. 173-190 | |
Tese dout. Física, Univ.de Lisboa, 2003 | |
Tipo: | material textual, impresso |
Texto policopiado] | |
Idioma: | Inglês |